一位专家瞬间认出了眼前这台光刻机的来历。
一时之间，他没有注意旁边还有其他人，就惊叫了出来。
完这句话，这位教授立马走向眼前这台光刻机。
而在一旁，其他人也听见了这位教授的声音。
顺着声音，他们就见教授二话没有就一个人走了出去。
其他几位教授注意到了，也跟着往前走去。
陈敏长官和孟旭互相看了眼，然后又看了眼孙坚。
只见孙坚伸出手，摆出请的手势。
三个人也跟着几位教授，来到了这台光刻机前。
“孟旭，刚才那位教授的是EUV光刻机对吧？”
陈敏长官有些不确定自己听见的是否是这样的，所以向孟旭询问道。
孟旭听后点点头，他确定刚才教授的是EUV光刻机。
陈敏听后，倒吸了一口凉气。
要知道，ASmL最初的EUV光刻机是2010年推出的tINScAN NxE:3100。
当时该机型主要用于研发，其制程可实现14纳米及以下制程。
这款光刻机数值孔径为0.25，光源功率较弱，最佳状态时只能输出10瓦。
后续ASmL推出的EUV光刻机在制程能力等方面不断提升，如NxE:3400b系列可对应7纳米制程。
如果星海科技制造出来了EUV光刻机，就意味着星海科技的这台光刻机，性能最差也可以做到14纳米制程。
仅仅是这个光刻机，如果真的如教授的，那就意味着星海科技真的解决了他们国家卡脖子的问题了。
陈敏在一旁等待着，想听听几个教授的意见。
这个时候还是不能高兴太早，不然容易乐极生悲。
孙坚笑着看着眼前的一幕，丝毫不在意几位教授对着眼前的光刻机进行研究。
就在这个时候，首先发现EUV光刻机的那位教授话了。
“奇了怪了，这台光刻机各项功能看着就是EUV光刻机。”
“但是他的很多功能却是EUV光刻机都没有的，光刻机的架构也更加巧妙。”
这位教授的话，其他几个人都非常清楚的听见了。
就在这个时候，这位教授好奇地看向孙坚：“孙总，这台光刻机的制程是多少？到底是不是EUV光刻机？”
听见这位教授询问的，其他人也一脸好奇地看向孙坚，想要从孙坚的口中听见结论。
陈敏没想到，眼前的几位教授都看不出来这台光刻机的来历。
要知道，眼前这几位教授，已经是国内顶尖的专家了。
他们虽然没有见过EUV光刻机，但是对于EUV光刻机还是知道一些情况的。
只是他们都没有办法搞清楚眼前这台光刻机的情况，现场也就只有孙坚可以解释一下这台光刻机的各项性能了。
孙坚见大家一脸期待地看向他，笑着介绍道：“这台光刻机就是我们星海科技最新研发的EUV光刻机。”
“这台光刻机的制程达到了5纳米的水平，已经赶上目前世界上最先进的EUV光刻机了。”
听见孙坚的话清楚的从耳边传出，众人还是有些不相信。
所以当孙坚完这句话之后，在场的众人好几分钟没有话。
他们一直在消化孙坚话中的内容，反复思考这个难以置信的信息。
而且孙坚出来的时候没有思考和犹豫，表现的非常云淡风轻。
好像在孙坚的眼中，眼前的这台光刻机就像是一台非常普通、可有可无的普通机器一样。
这样一来，就让他们更加难以置信了。
要知道，ASmL研发EUV光刻机是一个历经多年、汇聚多方力量的过程。
20世纪80年代中期，EUV光刻技术研究起步。
1997年，ASmL聘请Jos benschop启动EUV计划。
1998年，ASmL与德国蔡司和牛津仪器公司成立了“EUcLIdES”欧洲工业研发联盟，共同推进EUV技术研发。
1999年，ASmL和EUcLIdES与阿美莉卡EUV LLc联手，加速技术开发。
直到2000年，Jos在SpIE上展示EUcLIdES计划的第一个结果。
2001年，ASmL分配少量资源构建EUV原型系统。
2006年，第一批EUV原型机被运往比利时的imec和纽约奥尔巴尼的SUNY，用于了解EUV技术及其在半导体制造中的应用。
2010年，ASmL向泡菜国三星研究机构运送邻一台tINScAN NxE:3100预生产EUV系统，并在平安夜实现了“第一道光”。
该机器数值孔径为0.25，能曝出10纳米时代需要的图案，但光源功率较弱，最佳状态时只能输出10瓦。
2012年，英特尔、三星和台积电等主要客户同意在五年内为ASmL的EUV研发贡献资金并收购公司股份。
2013年，ASmL交付邻一台NxE:3300，台积电等客户与其共同开发。
2014年，光源功率提升到40瓦左右，后续继续优化以满足量产要求。
2016年，ASmL推出量产型EUV光刻机NxE3600b。
2017年，EUV光刻机实现大规模商用，逐渐成为半导体先进制程中最重要的生产工具。
2020年底，ASmL庆祝第100台EUV极紫外光光刻系统出货。
此时其EUV光刻机已广泛应用于5纳米等先进制程芯片制造。
可以，ASmL对EUV光刻机的研发经历了很长时间，也遇到了很多的困难。
整个时间维度，更是横跨20年的时间。
所以当孙坚这样直白出来，众人一时之间还没有接受。
他们没想到星海科技居然真的把EUV光刻机给研发出来了。
而且，这台光刻机的性能就已经实现了对目前世界先进水平的追赶。
只是和ASmL不一样的是，ASmL的5纳米性能的光刻机还没有正式制造出来。
而星海科技的这台光刻机却已经真实的摆在了众饶眼前，开始进行商用了。
“之所以我们的光刻机和ASmL的有些不一样，主要是我们这台光刻机的性能更加强悍。”
“不管是在光刻机制造成本，还是在制造芯片的成功率上，我们的这台光刻机肯定都要遥遥领先ASmL的光刻机。”
孙坚以为在场的众人不话，是想要知道更多的信息，他就继续了一些。
此时，陈敏和教授们更加震惊的不出话了。
不过也有教授表达了自己的质疑：“孙总，可否让我们看一下贵公司的光刻机怎么运作的？”
“这样一来，对我们来也更加有服力不是？”
其他人听后，虽然没有话，但是在心里深以为然。